一、主要工艺流程和工艺制程
(一)工艺流程
(二)工艺制程:1、成膜:PVD、CVD 2、光刻:涂胶、图形曝光、显影3、刻蚀:湿刻、干刻 4、脱膜
二、辅助工艺制程
1、清洗 2、打标及边缘曝光 3、AOI 4、Mic、Mac 观测 5、成膜性能检测(RS meter、Profile、RE/SE/FTIR) 6、O/S 电测 7、TEG 电测 8、阵列电测 9、激光修补
三、返工工艺流程
1、PR 返工
2、Film 返工
四、阵列段完整工艺流程
五、设备维护及工艺状态监控工艺流程
1、Dummy Glass 的用途
2、Dummy Glass 的流程
第二节 制盒段流程
1、取向及PI 返工流程
2、制盒及Spacer Spray 返工流程切割、电测、磨边
3、贴偏光片及脱泡、返工
第三节 模块段流程
1、激光切线、电测
2、COG 邦定、FPC 邦定、电测装配、电测
3、加电老化包装出货